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TC Wafer
1. 提供2” 4” 6” 8” 12” TC Wafer
2. 可根據客戶要求材質定制
3. 可按照客戶不同測溫點要求定制
4. 測溫范圍可根據要求設計
TC Wafer簡介
TC Wafer是溫度傳感器直接鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進行實時測量。通過晶圓的測溫點可以獲知特定晶圓位置的真實溫度測量值以及整體晶圓溫度分布；同時可以實時監控控溫過程的溫度變化，實現升溫、降溫過程以及恒溫過程期間的溫度數據。并可獲知爐溫溫度的均勻度。
示意圖
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4. 測溫范圍可根據要求設計
TC Wafer簡介
TC Wafer是溫度傳感器直接鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進行實時測量。通過晶圓的測溫點可以獲知特定晶圓位置的真實溫度測量值以及整體晶圓溫度分布；同時可以實時監控控溫過程的溫度變化，實現升溫、降溫過程以及恒溫過程期間的溫度數據。并可獲知爐溫溫度的均勻度。
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